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    工業超純水處理設備  

    工業超純水設備工程

    一.工業超純水設備工程介紹

     

    超純水:既將水中的導電介質幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。

    純度極高的水,電阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm極限值。在集成電路工業中用于半導體原材料和所用器

    皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。

    目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、

    0.5MΩ.cm,以區分不同水質。此外,其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使

    超純水。如今超純水已在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。

     

    二.工業超純水設備的特點  

     

    工業超純水設備通常由多介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主

    機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水

    箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控

    器,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法,使工業超純水設備與其它同類

    相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。 


    三.電子行業制備超純水的工藝大致分為以下幾種


    1、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→

    原水箱→反滲透設備→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

    2、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱

    →陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

    3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進行搭配的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種環

    保,經濟,發展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透

    設備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

     

    四.工業超純水設備的應用領域

     

    1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;

    2、超純材料和超純化學試劑;

    3、實驗室和中試車間;

    4、汽車、家電表面拋光處理;

    5、光電產品;

    6、其他高科技精微產品。

    時間:2018-04-19

     

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